Ar+イオンビーム照射されたPTFE表面へのチタン薄膜付与

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-P-27

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

タイトル：Ar⁺イオンビーム照射されたPTFE表面へのチタン薄膜付与

著者名: 山下 裕貴(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: PTFE|親水性|イオンビーム|表面改質

要約(日本語): ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の用途はあらゆる産業分野に広がっており，低摩擦，耐熱性，難燃性，電気絶縁性など優れた特性を有する．
本研究では，表面改質を行い，金属蒸着を試みる．

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