チタン，銅酸化物薄膜の温度特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-P-29

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 川口 天文(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: 反応性スパッタリング|酸化物半導体|抵抗温度係数

要約(日本語): 既存の温湿度センサは高湿度及び低湿度領域での感度が低く，高温多湿などの環境では寿命が短くなる課題もある．前述の機能を満たす材料として，紫外線照射により親水性を示す酸化チタンを採用した．酸化チタンは自己分解などを起こさないため，長寿命化に対応でき，酸化銅と組み合わせることで高感度化に期待が持てる．本研究では，酸化チタンを主とした温湿度センサの開発を目指し，電気的特性と温湿度特性を調査した．

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