1
/
の
1
軸方向放電励起方式とウォールカップル回路によるKrFの放電・発光特性
軸方向放電励起方式とウォールカップル回路によるKrFの放電・発光特性
通常価格
¥440 JPY
通常価格
セール価格
¥440 JPY
単価
/
あたり
税込
カテゴリ: 部門大会
論文No: 19-P-44
グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
発行日: 2017/09/15
著者名: 吉田 大海(山梨大学),後藤 勇人(山梨大学),對馬 弘明(ギガフォトン),宇野 和行(山梨大学),秋津 哲也(山梨大学),實野 孝久(大阪大学)
キーワード: 軸方向放電励起方式|KrF|誘電体バリア放電
要約(日本語): 我々は,小型で高ビーム品質なエキシマレーザーの開発のため,軸方向放電励起方式によるKrFレーザーの開発を行っている.本報告では,低ガス圧放電の軸方向放電励起方式と誘電体バリア放電のウォールカップル回路の組み合わせによるKrFの放電・発光特性の調査が行われた.その結果,内径0.8 nm,長さ30 cmの放電管の使用により,中心波長248 nm,スペクトル幅2 nm以下の発光が観測された.これは,KrFの反転分布の形成を意味する.
PDFファイルサイズ: 288 Kバイト
受取状況を読み込めませんでした
