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軸方向放電励起方式とウォールカップル回路によるKrFの放電・発光特性

軸方向放電励起方式とウォールカップル回路によるKrFの放電・発光特性

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 19-P-44

グループ名: 【A】平成29年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2017/09/15

著者名: 吉田 大海(山梨大学),後藤 勇人(山梨大学),對馬 弘明(ギガフォトン),宇野 和行(山梨大学),秋津 哲也(山梨大学),實野 孝久(大阪大学)

キーワード: 軸方向放電励起方式|KrF|誘電体バリア放電

要約(日本語): 我々は,小型で高ビーム品質なエキシマレーザーの開発のため,軸方向放電励起方式によるKrFレーザーの開発を行っている.本報告では,低ガス圧放電の軸方向放電励起方式と誘電体バリア放電のウォールカップル回路の組み合わせによるKrFの放電・発光特性の調査が行われた.その結果,内径0.8 nm,長さ30 cmの放電管の使用により,中心波長248 nm,スペクトル幅2 nm以下の発光が観測された.これは,KrFの反転分布の形成を意味する.

PDFファイルサイズ: 288 Kバイト

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