誘導結合型磁化プラズマ容器器壁近傍における電子エネルギー利得機構－器壁における電子反射およびシース電界を考慮したモンテカルロ解析－

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-A-a1-1

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 高橋 宏徳(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合型プラズマ|モンテカルロ法|電子エネルギー利得|電子運動|電子空間分布|電子反射

PDFファイルサイズ: 356 Kバイト