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対向発散磁界下誘導結合型磁化プラズマ中電子閉じ込め効果の定量化―磁界強度・分界面位置依存性―
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 4-A-a1-2
グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
発行日: 2018/09/01
著者名: 小澤 良輔(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)
キーワード: 誘導結合型プラズマ|対向発散磁界|分界面|閉じ込め効果|モンテカルロ法|電子運動
PDFファイルサイズ: 344 Kバイト
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