光電界センサによる衝突ESD現象の観察

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-A-a1-4

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 大津 孝佳(沼津工業高等専門学校),田代 治己(精工技研),大沢 隆二(沼津工業高等専門学校)

キーワード: ESD|光電界センサ|衝突ESD

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