電子ビームを照射した際の絶縁体表面の気体密度と局所圧力の推定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-A-a2-2

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 橋本 英和(埼玉大学),山納 康(埼玉大学)

キーワード: 真空|電子衝撃脱離|ガス放出

PDFファイルサイズ: 432 Kバイト