質量分析及びプローブ計測によるSi含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマの診断

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-F-a1-1

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 大野 祐也(千葉工業大学),永井 雅之(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学),太田 貴之(名城大学),上坂 裕之(岐阜大学)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン|プラズマCVD|高周波プラズマ|テトラメチルシラン|質量分析|ラングミュアプローブ

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