様々な圧力における変調/無変調誘導熱プラズマ照射による単結晶ダイヤモンド膜成長

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-F-a1-2

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 荒井 隆志(金沢大学),別院 利城(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|無変調誘導熱プラズマ|化学蒸着法|単結晶ダイヤモンド膜成長|熱解離|圧力依存性

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