アモルファス炭素膜創製用大気圧炭化水素プラズマのシミュレーション

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-F-a1-3

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 小田 昭紀(千葉工業大学),小嶋 正宏(千葉工業大学),大木 一真(千葉工業大学),太田 貴之(名城大学),上坂 裕之(岐阜大学)

キーワード: 大気圧プラズマ|炭化水素プラズマ|アモルファス炭素膜

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