反応性不平衡マグネトロン大電力パルススパッタによる窒化モリブデン薄膜の形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-F-a1-4

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 田中 尊士(兵庫県立大学),東 欣吾(兵庫県立大学)

キーワード: マグネトロンスパッタリング|反応性スパッタリング|モリブデン|パルススパッタリング|プラズマ|窒化物

PDFファイルサイズ: 222 Kバイト