容量結合型プラズマのベンチマーク解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5-F-a2-1

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: トン リチュ(計測エンジニアリングシステム)

キーワード: CCPプラズマ|ベンチマーク解析|二次電子放出

PDFファイルサイズ: 358 Kバイト