ペニング型パルススパッタ放電により形成されたチタンプラズマによる薄膜形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-P-24

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 永井 僚(兵庫県立大学),岡 好浩(兵庫県立大学),東 欣吾(兵庫県立大学)

キーワード: スパッタリング|ペニング放電|プラズマイオンプロセス|パルス放電|チタンターゲット|HiPIMS/HPPMS

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