イオンビームアシスト法による炭素薄膜形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-P-46

グループ名: 【A】平成30年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2018/09/01

著者名: 岩崎 賢司(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: 炭素|イオンビーム|アセチレン

PDFファイルサイズ: 303 Kバイト