屈折率分布型レンズアレイによる大面積均一投影露光

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-C-a1-5

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 堀内 敏行(東京電機大学),風間 裕太(東京電機大学),吉田 寛弥(東京電機大学),井門 芳恵(東京電機大学),住本 和弥(東京電機大学),柳田 明(東京電機大学),小林 宏史(東京電機大学)

キーワード: リソグラフィ|投影露光|屈折率分布型レンズアレイ|ステンレス鋼板|大パターン|露光装置

要約(日本語): 大パターンリソグラフィ用に，屈折率分布型レンズアレイを投影レンズとする簡便安価な投影露光装置を開発中である．直径1.085mm，長さ6.29mmのレンズを2列俵積みにして樹脂で固めたアレイを用い，1:1投影露光を行った．焦点深度が大きく被露光物の凹凸に対応できる．露光フィールド50mm角で，ステンレス鋼板上に1:1の15?mライン&スペースパターンを線幅精度±7.6%で形成できた．

PDFファイルサイズ: 203 Kバイト