水溶液からの電気化学堆積法によるZnO膜の高速製膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-C-a2-1

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 芳賀 洋典(埼玉工業大学),陣内 意康(埼玉工業大学),小川 隼平(埼玉工業大学),黒田 達也(埼玉工業大学),加藤 那征(埼玉工業大学),石崎 博基(埼玉工業大学)

キーワード: 電気化学堆積|酸化亜鉛|透明導電性酸化物

要約(日本語): ZnO薄膜は，優れた電気特性及び光学特性を有しており，低コストの透明導電膜材料として注目されている．現在までに，物理蒸着法を用いて高温で製膜されている．一方，低融点材料上への製膜が可能であり，基板の形状やサイズに左右されずに均一性の高い膜を製膜できるという利点を有する電気化学堆積法に注目した．そこで本研究では，電気化学堆積法を用いてZnO膜の低温高速製膜を行い，作製した膜の電気特性及び光学特性を評価した．

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