準大気圧直流ヘリウムアーク放電プラズマ生成と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-D-a1-4

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 門脇 和正(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),青田 達也(ユメックス),前中 志郎(ユメックス),藤田 和宜(ユメックス),高村 秀一(ユメックス/愛知工業大学)

キーワード: 準大気圧アーク放電|ヘリウムプラズマ|繊維状ナノ構造タングステン

要約(日本語): 我々はこれまでにガス圧力80kPaにおけるヘリウム（He）アーク放電プラズマ照射によりタングステン（W）表面に繊維状ナノ構造が形成されることを明らかにしている．
しかし，交流アーク放電を用いているためプラズマ電位が時間的に変動し，Ｗ試料に印加するバイアス電位の効果を明らかにすることが困難である．そこで，本研究では初期放電用の高電圧パルス電源とアーク放電用の直流電源を組み合わせた電源システムを構築した．

PDFファイルサイズ: 336 Kバイト