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大気圧プラズマ窒化処理における拡張オーステナイト相形成のための水素流量比の最適化
大気圧プラズマ窒化処理における拡張オーステナイト相形成のための水素流量比の最適化
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 3-D-a1-5
グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
発行日: 2019/08/16
著者名: 中原 弘将(大分大学),市來 龍大(大分大学),大谷 亮仁(大分大学),西口 宏泰(大分大学),立花 孝介(大分大学),古木 貴志(大分大学),金澤 誠司(大分大学)
キーワード: 窒素ドーピング|大気圧プラズマ|ステンレス|NHラジカル
要約(日本語): 我々は,大気圧プラズマジェットを用い拡張オーステナイト相(S相)形成に成功した.処理には窒素と水素ガスを導入する.処理の一段階目として,水素流量比を増やすことにより窒素ドープの妨げとなるステンレス鋼の不動態膜(酸化膜)を還元する.二段階目では水素を減らすことによりNHラジカルの供給量を増加させ,窒素ドープの効率化を図る.本研究では,不動態膜の還元,窒素ドープにおける水素流量比の最適化を試みた.
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