大気圧非平衡プラズマの連続スペクトル発光分光計測診断

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-D-a2-1

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 赤塚 洋(東京工業大学),大西 広(東京工業大学),Van der Gaag Thijs(東京工業大学),根津 篤(東京工業大学)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマ|発光分光計測|電子温度|電子密度|衝突輻射モデル|制動放射による連続スペクトル

要約(日本語): 大気圧非平衡プラズマは近年，工業や農業，医療など様々に応用されている．しかし，「電子温度・密度」の計測手法は未だ十分に確立されていない．そこで本研究では，発光分光計測(OES)によって測定した大気圧非平衡Arプラズマから，これらのパラメータを線スペクトルや連続スペクトルなどの発光スペクトルを様々な方法で解析して導出し，比較検討する．電子エネルギー分布関数の測定可能性についても，若干の議論を行う．

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