準大気圧高繰り返しナノ秒パルスグロー放電を用いたDLC成膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-D-a2-5

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 井岡 克也(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),平野 涼(兵庫県立大学),八束 充保(兵庫県立大学)

キーワード: 準大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン成膜|パルスグロー放電

要約(日本語): 我々は準大気圧高繰り返しナノ秒パルスグロー放電を用いたダイヤモンドライクカーボン(DLC）の高速成膜実験を行っている．その結果，成膜レート200nm/min，硬度13GPaのDLC膜が得られた．ラマン分光計測から膜中の水素含有量を評価した結果，繰り返し周波数を高くすると水素含有量が低下し，膜の硬度が上昇することが分かった．現在，膜中の残留応力評価やプロセスガスの混合率の最適化等を進めている．講演ではこれらの結果について発表する．

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