ファラデーシールドが及ぼす誘導結合プラズマのEモード抑制への影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-D-a1-4

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 三浦 廉(岩手大学),松原 翔(岩手大学),鎌田 貴晴(八戸工業高等専門学校),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学)

キーワード: 誘導結合プラズマ|ファラデーシールド|Eモード|Hモード

要約(日本語): 誘導結合プラズマ（ICP）は，コイル電流による誘導電界で生成され，放電開始電圧付近では容量結合（Eモード）が支配的となる．
本研究では，メッシュ電極によりファラデーシールドを行いEモード放電を抑制する．接地メッシュ電極の位置と線密度を調整した結果，幅20mm，線密度150本/inch，メッシュ電極位置がコイルの給電位置かつ接地位置のとき，Eモード放電は消失し，E-H遷移電圧は最小値630Vを示した．

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