モンテカルロシミュレーションによる対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子閉じ込め効果の制御条件依存性の解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-A-a2-2

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 小澤 良輔(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: モンテカルロ法|誘導結合磁化プラズマ|対向発散磁界|電子閉じ込め効果|分界面|電子エネルギー分布

要約(日本語): 誘導結合磁化プラズマの一種Ｘ点プラズマは印加した対向発散磁界が電子閉じ込め効果を示す．励起源アンテナ側上部領域では高電子数密度となり下部拡散領域では低エネルギー電子が負イオンを多く生成すると期待される．本報では磁界強度と分界面高さを変えて電離衝突や電子脱出・復帰過程や電子エネルギー分布を解析し，閉じ込め効果のプラズマ維持への寄与や選択性の発現について各種時定数・周波数等の指標を用いて定量評価した．

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