誘導結合型磁化プラズマ容器側壁近傍における電子エネルギー利得機構（2）－シース電界形状と磁界印加方向が利得機構に及ぼす影響のモンテカルロ解析－

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-A-a2-3

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 高橋 宏徳(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

キーワード: 誘導結合型磁化プラズマ|電子エネルギー利得|モンテカルロ法|シース電界|Ｅ×Ｂドリフト|電子運動

要約(日本語): 誘導結合磁化プラズマ中電子エネルギー利得機構をモンテカルロ法で解析した．円筒容器側壁近傍のシース電界と磁界による周方向のＥ×ＢドリフトがＲＦ電界の加速方向と一致するためエネルギー利得が生じる仕組みを解明した．シース電界形状と磁界印加方向を変化させエネルギー利得の空間分布を解析した．磁力線の側壁からの傾きに対し器壁近傍のエネルギー利得が極大値を持ち，この原因について電子運動に基づき微視的に考察した．

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