PLD法で作製したR2Fe14B系磁石膜のSi基板への成膜と磁気特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-F-a2-4

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

タイトル：PLD法で作製したR₂Fe₁₄B系磁石膜のSi基板への成膜と磁気特性

著者名: 松岡 凌平(長崎大学),山口 貴志(長崎大学),竹市 薫(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

キーワード: PLD法|Nd-Fe-B系磁石|Ce-Fe-B系磁石|厚膜磁石|Pr-Fe-B系磁石|MEMS

要約(日本語): Si基板上に永久磁石を厚膜として成膜し，MEMSへ応用する研究が報告される中，磁気特性以外の機械的性質を鑑みると，Nd-Fe-B系磁石以外にPr-Fe-B系やCe-Fe-B系磁石膜の利用も期待される．本研究では，PLD法で作製したSi基板上（一部バッファー層を含む）のR₂Fe₁₄B系磁石膜に着目し，磁気特性ならびに熱処理時の破壊現象に関して比較検討した．

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