電極表面中心からの電極表面の汚損分布と真空中絶縁破壊コンディショニング特性の関係

カテゴリ: 部門大会

論文No: 4-A-a1-4

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 中野 幹久(埼玉大学),山納 康(埼玉大学)

キーワード: 真空|絶縁破壊|汚損

要約(日本語): 分析機器や加速器などの性能向上のために，真空中の絶縁破壊機構に関する研究が不可欠となっている．この機構は，汚損などの電極の表面状態に影響を受ける．本研究では，電極表面の汚損分布が真空中絶縁破壊特性に与える影響を調べるために，真空中絶縁破壊試験とX線光電子分光法による電極表面の化学状態の分析を行った．実験結果より，電極表面の周辺部の汚損が最終的な耐電圧特性を決めている可能性が高いことが示唆された．

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