垂直静電塗布法を用いた有機半導体薄膜の均質化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-E-a1-3

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 山内 博(東京電機大学),岡田 悠悟(千葉大学),田所 貴志(東京電機大学),工藤 一浩(千葉大学)

キーワード: 有機薄膜トランジスタ静電塗布|静電塗布

要約(日本語): これまで静電塗布法を用いて有機半導体層を微細領域に直接パターニング塗布するプロセスを実現し，有機FETを作製してその有用性を報告してきた．本研究では，有機半導体材料自身の機能性の向上に着目し，有機半導体溶液のサイズ選択塗布による薄膜の均質化とそれを用いたFETの動作特性の評価をするため，新たに用いた垂直静電塗布法によって成膜された有機半導体薄膜と，それを用いて作製したトランジスタの特性について評価を行った結果について報告する．

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