窒素イオンによる表面改質法を用いた環境セル用隔膜の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-P-4

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 田井 有希(近畿大学),松谷 貴臣(近畿大学),川﨑 忠寛(ファインセラミックスセンター)

キーワード: 環境セル型透過電子顕微鏡|透過型電子顕微鏡|アモルファス窒炭化ケイ素|X線光電子分光法|窒素イオン|高分子材料

要約(日本語): ガス雰囲気中の生体試料等が観察可能な環境セル型透過電子顕微鏡で用いられる隔膜を窒素イオンによる表面改質法を用いて開発した．隔膜には，高硬度で化学的不活性なアモルファス窒炭化ケイ素に着目した．ケイ素が含まれる高分子膜に窒素イオンを照射後，未改質部位をアセトンにより除去し，改質層のみで形成される隔膜を得た．X線光電子分光法および透過型電子顕微鏡により評価した結果，極薄膜で高硬度な隔膜の開発に成功した．

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