Investigation of Plasma Parameters and Mode Transition in Inductively Coupled Plasma with Hydrogen & Oxygen gases

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-P-6

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 武田 一希(八戸工業高等専門学校),佐藤 一真(八戸工業高等専門学校),渡辺 政行(日本大学),向川 政治(岩手大学),鎌田 貴晴(八戸工業高等専門学校),中村 嘉孝(八戸工業高等専門学校)

キーワード: inductively coupled plasma|mode transition|CCP mode|ICP mode

要約(日本語): DLC成膜の際，膜特性の向上を目的にICPによる水素および酸素ラジカルの投入を予定している．そこで，水素，酸素ICPの基礎特性の調査を行った．本発表ではRF電力を変化させた際の放電電流・電圧の位相差，分光器による電子温度の調査，ダブルプローブによるプラズマ密度を調べ，EとHモードの遷移点を調べるとともに，ICPプラズマ特性に与える影響についても調査した．

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