Arプラズマを用いたPTFE表面処理によるTi薄膜付着性と処理温度の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-P-9

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 家坂 昂希(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: PTFE|表面改質|プラズマ処理|付着性

要約(日本語): ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）の優れた特性から，その利用は広範囲の分野に渡っており，著者らは表面改質を行うことにより更なる応用を図ってきた．本研究では表面改質を粘着テープタイプのPTFEを貼付する基板を厚さ1mmのSUS304, Cu, ソーダガラスと材質を変化させ，Arプラズマ処理時のPTFE表面の温度を微妙に変化させ，更なる付着性の向上を目指すとともに熱が表面化学状態や付着性に及ぼす影響を調査した．

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