両極性パルス加速器の2段加速におけるパルス重イオンビームの特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-P-13

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 寺田 匡志(富山大学),石田 治康(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学)

キーワード: パルス重イオンビーム|パルスイオン注入|磁気絶縁ダイオード

要約(日本語): 高強度パルス重イオンビームの産業応用，例えば表面改質やイオン注入などの材料プロセス分野において，高強度・高純度のパルス重イオンビームが必要である．本研究では，イオンビームを多段加速させると同時にイオンビーム純度の向上が可能である両極性パルス加速器（Bipolar Pulse Accelerator : BPA）を開発し，2段加速におけるパルス重イオンビームの特性を評価したのでその結果を報告する．

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