TiO2/Cu2O薄膜へのZnO中間層挿入による光触媒効果の改善

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-P-23

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

タイトル：TiO₂/Cu₂O薄膜へのZnO中間層挿入による光触媒効果の改善

著者名: 城市 晃宏(工学院大学),鷹野 一朗(工学院大学)

キーワード: スパッタリング|光触媒TiO2|TiO2

要約(日本語): 近年，TiO2は様々な特性が注目されており,広く研究がされている．
先行研究では反応性スパッタリング法によりCu2Oを下層に形成し吸光波長の拡大を試み，酸化物中間層を挿入することにより光触媒効果の改善を行った．
本研究では中間層ZnOを採用し最適な形成条件を調査するとともに，先行研究の酸化物層との違いについて検討した．

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