陽子線描画における高分子圧電材料(PVDF-TrFE)への照射効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: 3-P-28

グループ名: 【A】令和元年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2019/08/16

著者名: 野尻 佳孝(芝浦工業大学),西川 宏之(芝浦工業大学),林 秀臣(エコデザイン推進機構)

キーワード: センサ|PVDF-TrFE|陽子線|照射効果

要約(日本語): 近年，IoTデバイスは様々な分野で利活用されており小型で省電力，安価のセンサが要求されている．そこで高い圧電性を持ち柔軟性が高く製造が容易な高分子圧電材料(PVDF-TrFE)に着目し，高アスペクト比構造や三次元構造などの微細構造のデバイス作製に向け研究を行う．本実験では，微細加工のための陽子線描画によるPVDF-TrFEへの照射効果をFT-IRを用いて吸収スペクトル，レーザ顕微鏡による加工部分の深さについて調査を行う．

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