三次元露光技術の開発ならびに射出成形プレートによる接合検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS05004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Development of 3-dimensional exposure process and bonding technique of injection molded micro plate

著者名: 老子真人 (スターライト工業),黒川 正也(スターライト工業),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Naoto OIKO(Starlite Co.,Ltd.),Masaya KUROKAWA(Starlite Co.,Ltd.),Osamu Tabata(Kyoto University)

キーワード: 三次元露光､シンクロトロン放射光､LIGA､射出成形､接合

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 988 Kバイト