ツリガネムシで駆動するMEMSの実現に向けて　-ツリガネムシの力学特性計測とMEMS一体化プロセスの基礎検討-

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS07029

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Towards MEMS Powered by Vorticella - Mechanical Measurement of Vorticella and Fundamental Investigation of Integration of Vorticella into MEMS -

著者名: 永井 萌土(東京大学),久米村 百子(東京大学),榊 直由(東京大学),藤田 博之(東京大学),浅井 博(早稲田大学)

著者名(英語): Moeto Nagai(The University of Tokyo),Momoko Kumemura(The University of Tokyo),Naoyoshi Sakaki(The University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(The University of Tokyo),Hiroshi Asai(Waseda University)

キーワード: ツリガネムシ|MEMS|マイクロ流体デバイス|アクチュエータ|マイクロマシニング|Voritcella|MEMS|Microfluidic device|Actuator|Micromachining

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 773 Kバイト