液晶プロジェクタを用いたマスクレス露光装置によるマイクロパターン作製技術の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS08016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2008/09/11

タイトル(英語): Development of micropattern fabrication technique using maskless exposure device equipped with an LCD projector

著者名: 糸賀 和義(東京女子医科大学),小林 純(東京女子医科大学),大和 雅之(東京女子医科大学),岡野 光夫(東京女子医科大学)

著者名(英語): Kazuyoshi Itoga(Tokyo Women's Medical University),Jun Kobayashi(Tokyo Women's Medical University),Masayuki Yamato(Tokyo Women's Medical University),Teruo Okano(Tokyo Women's Medical University)

キーワード: フォトリソグラフィー|液晶プロジェクタ|マスクレス|マイクロパターン|細胞のマイクロパターニング|光重合|フォトレジスト|XYステージ|ポリアクリルアミド|Photolithography|LCD projector|maskless|micropattern|cell micropatterning|photopolymerization|photoresist|XY

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,307 Kバイト