LSI技術を用いた農業用ECセンサに関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS09005

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門 バイオ･マイクロシステム研究会

発行日: 2009/02/28

タイトル(英語): Study of EC sensor using LSI techniques in agricultural applications

著者名: 二川 雅登(豊橋技術科学大学),岩崎 太一(豊橋技術科学大学),高尾 英邦(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Futagawa Masato(Toyohashi University of Technology),Iwasaki Taichi(Toyohashi University of Technology),Takao Hidekuni(Toyohashi University of Technology),Ishida Makoto(Toyohashi University of Technology),Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology)

キーワード: ＥＣセンサ|Ｐｔ電極|集積回路技術|農業|EC sensor|Pt electrodes|LSI|agriculture

要約(英語): A new electrical conductivity (EC) sensor with Pt electrodes on a Si substrate is proposed for use in agricultural applications. The CMOS logic technology compatible sensor was successfully fabricated with a small chip size of 25 mm2.　Measurements made on

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,882 Kバイト