Si集積回路技術を用いた小型水分量センサの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS10009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2010/06/18

タイトル(英語): Fabrication of a Miniaturized Water Content Sensor using Integrated Circuit Technology

著者名: 釜戸 敬太(豊橋技術科学大学),二川 雅登(豊橋技術科学大学),岩崎 太一(豊橋技術科学大学),川嶋 和子(愛知県農業総合試験場),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Kamado Keita(Toyohashi University of Technology),Futagawa Masato(Toyohashi University of Technology),Iwasaki Taichi(Toyohashi University of Technology),Kawashima Kazuko(Aichi Agricultural Research Center ),Ishida Makoto(Toyohashi University of Technology),Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 水分量|静電容量|集積化|農業|センサ|ロックウール|water content|capacitance|integrated|agriculture|sensor|rock wool

要約(日本語): 農業の効率化や水資源の効率利用のため、小型で他のセンサと集積化が可能な水分量センサを製作した。このセンサは2つの電極間の静電容量を測定することにより水分量をセンシングする。電極上のパッシベーションを薄いSiNのみにすることで絶縁膜容量を大きくし、試料容量を見やすくした。そしてロックウールにセンサを差し込み、静電容量の測定を行った。静電容量が水分量に比例しており、水分量の測定が可能であることがわかった。

要約(英語): In this study, our objective was fabrication of a miniaturized water content sensor using integrated circuit technology. To measure water content, we measured capacitances between two electrodes in the sensor. It was confirmed that the sensor was able to be measured water content by experiment using a rock wool.

原稿種別: 日本語

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