感光性ナノコンポジットを用いたマイクロポンプ用磁気駆動膜の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS12017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2012/06/12

タイトル(英語): Fabrication of a magnetic active membrane for a micropump made of photosensitive nanocomposite

著者名: 中原 佐(京都大学),細川 祐揮(香川大学),寺尾 京平(香川大学),高尾 英邦(香川大学),下川 房男(香川大学),大平 文和(香川大学),宮川 勇人(香川大学),生津 資大(兵庫県立大学),小寺 秀俊(京都大学),鈴木 孝明(香川大学)

著者名(英語): Nakahara Tasuku(Kyoto University),Hosokawa Yuuki(Kagawa University),Terao Kyohei(Kagawa University),Takao Hidekuni(Kagawa University),Shimokawa Fusao(Kagawa University),Oohira Fumikazu(Kagawa University),Miyagawa Hayato(Kagawa University),Namazu Takahiro(University of Hyogo),Kotera Hidetoshi(Kyoto University),Suzuki Takaaki(Kagawa University)

キーワード: 駆動膜|フォトレジスト|磁性粒子|マイクロポンプ|Active membrane|Photo resist|Magnetic particles|Micropump

要約(日本語): 本研究は、フォトレジストに磁性粒子を懸濁した感光性ナノコンポジットを用いて、従来に比べて工程を簡単化した駆動膜作製法を提案する。懸濁する磁気粒子の違いによる磁気特性の変化を評価し、発生力や変位量向上を検討する。また、試作した駆動膜を含むチャンバ構造に蛍光粒子を含む液体を流し込み、液体存在下での駆動特性を評価して、提案手法のマイクロポンプ用駆動膜作製方法としての有用性を検証する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 826 Kバイト