ＭＥＭＳファブリペロー干渉計を用いた高感度表面応力センサによる非標識タンパク質検出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS13003

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2013/03/08

タイトル(英語): A High-Sensitive Surface-Stress Sensor Based on MEMS Fabry-Perot Interferometer for Label-Free Protein Detection

著者名: 高橋 一浩(豊橋技術科学大学),大山 泰生(豊橋技術科学大学),小澤 遼(豊橋技術科学大学),三澤 宣雄(豊橋技術科学大学),奥村 弘一(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takahashi Kazuhiro(Toyohashi University of Technology),Oyama Hiroki(Toyohashi University of Technology),Ozawa Ryo(Toyohashi University of Technology),Misawa Nobuo(Toyohashi University of Technology),Okumura Koichi(Toyohashi University of Technology),Ishida Makoto(Toyohashi University of Technology),Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 表面応力センサ|ファブリペロー干渉計|非標識|タンパク質|フォトダイオード|Surface-stress sensor|Fabry-Perot interferometer|label-free|Protein|photodiode

要約(日本語): 本研究では、フォトダイオード上にＭＥＭＳ可動膜を形成し半導体基板とのギャップでファブリペロー干渉計を構成することによって、生体分子の付着による表面応力を高感度に検出するセンサの提案を行う。透過率変化を利用した高効率な信号変換によって、従来技術と比較し感度を2桁程度向上することが期待できる。試作したセンサ上にウシ血清アルブミン抗体0.1 mg/mlを固定し、電流値が23.7 nA変化したことより原理検証に成功した。

要約(英語): We have developed a surface-stress sensor based on a MEMS Fabry-Perot interferometer integrated with a photodiode, which utilizes optical transmittance change due to the Fabry-Perot interference to enhance the sensitivity of surface stress. The photocurrent was demonstrated to shift by 23.7 nA using a light source of 10 uW/cm2 at 600 nm wavelength with anti-bovine serum albumin antibodies (anti-BSA).

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,847 Kバイト