Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS16027

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2016/06/29

タイトル(英語): Fabrication of transmissive plasmonic color filters with built-in Si photodiodes

著者名: 清水 友己(東北大学),齋 均(産業技術総合研究所),金森 義明(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Tomoki Shimizu(Tohoku University),Hitoshi Sai(National Institute of Advanced Industrial Science And Technology),Yoshiaki Kanamori(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: メタマテリアル|構造色|プラズモニクス|フォトダイオード|metamaterial|structural color|plasmonics|photodiode

要約(日本語): 構造色を発現するmetal-insulator-metal共振器のナノ構造にフォトダイオードを内蔵した、光電変換機能を持つ透過型カラーフィルタを提案する。厳密結合波理論により透過スペクトルを計算し、設計を行った。スパッタリング法による成膜と高速原子線加工により製作したデバイスは、波長選択性と光電変換機能を持つことが実験により確認された。このデバイスは、ディスプレイのカラーフィルタやイメージセンサなどへの応用が期待できる。

要約(英語): Nanostructured color filters with a function of power generation, based on photodiodes embedded in metal-insulator-metal resonators are proposed. As an experimental demonstration, it is shown to exhibit wavelength selectivity and power generating capacity. This device is expected to apply to displays and image sensors.

原稿種別: 英語

PDFファイルサイズ: 1,276 Kバイト