インターディジタル形状の対向電極を用いた静電型エナジーハーベスタ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS16034

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): ELECTROSTATIC ENEGY HAEVESTER WITH INTERDIGITAL SHAPED COUNTER ELECTRODE

著者名: 三輪谷 直輝(兵庫県立大学),南 啓大(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Miwatani Naoki(University of Hyogo),Minami Keidai(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Kanda Kensuke(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|エナジーハーベスタ|エレクトレット|インターディジタル|フリンジ効果|MEMS|Energy Harvester|Electret|Interdigital|Fringing Effect

要約(日本語): エレクトレットを用いた静電型エナジーハーベスタの高出力化の手法を提案する。対向電極をインターディジタル形状に分離し、エレクトレットと同ピッチに配置した構造をMEMSプロセスにより作製した。3 G、350 Hzの加速度において、それぞれの対向電極から16 uW、11 uWの出力が得られ、従来のデバイスと比べて1.6倍、1.1倍大きい出力となった。

要約(英語): We report an improvement of output power from electret type vibration electrostatic energy harvester. The harvester with interdigital shaped counter electrode is fabricated by MEMS process. The output power of 16 uW and 11 uW are obtained by each kind of counter electrode with 3 g at 350 Hz, respectively.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,317 Kバイト