静電型エナジーハーベスタのためのNdFeB薄膜磁石を用いた磁気ストッパー構造

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS16035

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): Magnetic Stopper Structure Using NdFeB Thin-Film Magnet for Electrostatic Energy Harvester

著者名: 吉井 真一(兵庫県立大学),山口 晃平(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Shinichi Yoshii(University of Hyogo),Kouhei Yamaguchi(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: ＮｄＦｅＢ薄膜磁石|静電型エナジーハーベスタ|ＭＥＭＳ|磁気浮上|NdFeB thin-film magnet|Electrostatic Energy Harvester|Magnetic Stopper Structure|MEMS|Magnetic Levitation

要約(日本語): 本稿では、静電型エナジーハーベスタに向けたスパッタリングNdFeB/Ta積層薄膜磁石とMEMS技術による微細磁石加工技術を用いた磁気浮上によるプルイン防止機構を提案する。我々は、薄膜磁石の微細化により反磁界を低減し、磁気反発力を高めることのできる微細磁石構造を調べ、エアギャップに対して最適な磁石構造が得られた。その結果、8×8×0.015mmの薄膜磁石に比べて同領域での微細磁石構造では約10倍の磁気反発力を得られた。

要約(英語): We describe a magnetic stopper structure using stripe shaped magnetic thin-film. Stripe shaped magnet film can increase the magnetic repulsive force because the high aspect-ratio magnet decreases a demagnetize-field. As a result, stripe shaped magnet film generates repulsive force for magnetic stopper.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,225 Kバイト