誘電泳動集積法による半導体ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサの作製及び二酸化窒素応答

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS16036

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2016/06/30

タイトル(英語): Detection of Nitrogen Dioxide by Semiconductor Nanoparticles-decorated Carbon Nanotube Gas Sensor Fabricated by Dielectrophoresis

著者名: 難波 佑至(九州大学),井上 翔太(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Yushi Nanba(Kyushu University),Shota Inoue(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: 誘電泳動|ガスセンサ|カーボンナノチューブ|酸化亜鉛|酸化スズ|二酸化窒素|Dielectrophoresis|Gas Sensor|Carbon Nanotube|Zinc Oxide|Tin Oxide|Nitrogen Dioxide

要約(日本語): カーボンナノチューブ(CNT)ガスセンサは誘電泳動集積法を用いてCNTを電極間に集積させることで容易に作製することができ、二酸化窒素等の酸化性ガスとアンモニア等の還元性ガスのいずれに対しても常温検出が可能である。本研究では、ガスセンサ上のCNTに対して酸化亜鉛(ZnO)及び酸化スズ(SnO2)の半導体ナノ粒子を同集積法により修飾することで、二酸化窒素に対して更に高感度なガスセンサを作製した。

要約(英語): We have proposed an easy fabrication method of carbon nanotube (CNT) gas sensor by dielectrophoresis (DEP) and studied its sensing property. This sensor detects NO2 at room temperature. In this study, we decorated the surface of CNT on the gas sensor with semiconductor nanoparticles by DEP to improve the sensitivty.

原稿種別: 日本語

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