斜面崩壊予知に向けた半導体型インピーダンスセンサの土壌密着性向上に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS16066

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2016/11/30

タイトル(英語): Improvement of Soil Contact Characteristics of a Semiconductor-type Impedance Sensor to Predict Slope Failures

著者名: 伊藤 巽(静岡大学),小笠原 慎(静岡大学),平野 陽豊(静岡大学),鈴木 彦文(信州大学),不破 泰(信州大学),小松 満(岡山大学),草野 健一郎(ラピスセミコンダクタ宮城),渡辺 実(ラピスセミコンダクタ),二川 雅登(静岡大学)

著者名(英語): Tatsumi Ito(Shizuoka University),Shin Ogasahara(Shizuoka University),Harutoyo Hirano(Shizuoka University),Hikofumi Suzuki(Shinshu University),Yasushi Fuwa(Shinshu University),Mitsuru Komatsu(Okayama University),Kenichiro Kusano(LAPIS Semiconductor Miyagi Co.),Minoru Watanabe(LAPIS Semiconductor Co.),Masato Futagawa(Shizuoka University)

キーワード: インピーダンス|土壌|水分量|半導体|親水性|保護膜|Impedance|Soil|Water content|Semiconductor|Hydrophilicity|Film

要約(日本語): 斜面崩壊の被害低減を目的とした半導体型インピーダンスセンサの研究を行ってきた。しかし、センササイズが小さいためセンサ界面に発生する空気によりばらつきが生じていた。本研究では、従来の疎水性(SiNx)センサを改善し、親水性(SiOx)保護膜を追加することで土壌中の水との密着性を高め、水分量計測の安定性向上を実現した。そして、山の斜面での長期現場計測を行い、降水量に対して鋭敏に反応できるセンサを実現した。

要約(英語): We have been studying a semiconductor type impedance sensor to minimize damages of slope failure. However, because sensor size is smaller than other sensors, measurement accuracy had been affected by the air pocket onto the sensor surface. We fabricated a new hydrophilicity sensor deposited SiOx film on the sensor surface. We confirmed that the stability of the measurement by field monitoring in the slopes of the mountain.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,557 Kバイト