ポリマー材料を用いたマッハツェンダー型光導波路の作製に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS17048

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2017/10/04

タイトル(英語): Studying about fabrication of Mach-Zehnder optical waveguide structures in polymer materials

著者名: 粕谷 建太(群馬大学),三浦 聡(群馬大学),王 酉申(群馬大学),海野 陽平(群馬大学),鈴木 孝明(群馬大学),加田 渉(群馬大学),佐藤 隆博(量子科学技術研究開発機構),江夏 昌志(量子科学技術研究開発機構),山田 尚人(量子科学技術研究開発機構),三浦 健太(群馬大学),花泉 修(群馬大学)

著者名(英語): Kenta Kasuya(Gunma University),Satoshi Miura(Gunma university),YouShen Wang(Gunma university),Yohei Umino(Gunma university),Takaaki Suzuki(Gunma university),Wataru Kada(Gunma university),Takahiro Satoh(Quantum and Radiological Science and Technology),Masashi Koka(Quantum and Radiological Science and Technology),Naoto Yamada(Quantum and Radiological Science and Technology),Kenta Miura(Gunma University),Osamu Hanaizumi(Gunma university)

キーワード: 光センシング技術|バイオセンサー|フォトリソグラフィ法|ＳＵ－８|ＰＤＭＳ|光導波路|light sensing technology|biosensor|photolithography method|SU-8|PDMS|optical waveguide

要約(日本語): 光センシング技術の多様化に伴い、機能性に富んだ多種の材料への光回路実装が要求されている 。我々はバイオセンシング応用を目的として、高分子薄膜を基材としたマッハツェンダー型光導波路・光スイッチの基礎要素開発に取り組んでいる。本発表では、ガラス基板上に成膜したPDMS薄膜を用い、SU-8を用いたフォトリソグラフィ法によるコア形成を行うことで製作した高分子薄膜型光導波路素子の基礎特性評価について報告する。

要約(英語): We are working on the development of basic elements of Mach-Zehnder type optical waveguide using polymer thin film for biosensor application.In this presentation, we will report the basic characteristics evaluation of polymer thin film type optical waveguide device fabricated by using PDMS thin film and photolithography method using SU-8 formed on glass substrate.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,344 Kバイト