両面NdFeB薄膜磁石を用いた電磁誘導式エナジーハーベスタの提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS17072

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2017/12/15

タイトル(英語): Proposal of an Electromagnetic energy harvester using double sided NdFeB thin-film magnet

著者名: 吉井 真一(兵庫県立大学),山口 晃平(兵庫県立大学),福永 彬人(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Shinichi Yoshii(University of Hyogo),Kohei Yamaguchi(University of Hyogo),Akito Fukunaga(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: ＮｄＦｅＢ薄膜磁石|電磁誘導式エナジーハーベスタ|ＭＥＭＳ|NdFeB thin-film magnet|Electromagnetic energy harvester |MEMS

要約(日本語): 近年，ワイヤレスセンサの発展に伴い，その動力源に向け振動型エナジーハーベスタの研究を行っている。先行研究において，NdFeB薄膜磁石を利用した電磁誘導式エナジーハーベスタの製作に成功している。本研究では，このデバイスの発展として，NdFeB薄膜磁石をSi基板の両面に配置することで，磁石成膜による基板の反り低減，振動時に働くローレンツ力の打ち消し，発電電力量の向上させる構造の提案を行う。

要約(英語): In the previous study, we succeeded in making electromagnetic energy harvester using NdFeB thin film magnet. In this study, development of this device, we propose a structure to reduce the warpage of the substrate by magnet film, cancel the Lorentz force, and improve the power generation amount by double sided NdFeB thin film magnets on the Si substrate .

原稿種別: 日本語

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