厚膜感光性材料の接着性を利用した3次元集積技術

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: BMS18032

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム研究会

発行日: 2018/07/12

タイトル(英語): Integration Method using Adhesiveness of Photosensitive Polymer

著者名: 上野 秀貴(群馬大学大学院),山田 功(群馬大学),鈴木 孝明(群馬大学)

著者名(英語): Hidetaka Ueno(Gunma University, Graduate School of Science and Technology),Ko Yamada(Gunma University, School of Science and Technology),Takaaki Suzuki(Gunma University, School of Science and Technology)

キーワード: 厚膜感光性材料|接着|集積技術|Photosensitive Polymer|Adhesiveness|Integration method

要約(日本語): 本研究では、厚膜感光性材料の有する接着性に着目した、平面微細構造と立体構造との集積手法を提案する。厚膜感光性材料の接着性を利用し、MEMS作製技術にて作製された微細構造を、立体構造と集積する。本手法では、従来のMEMS加工技術では困難であった、構造の3次元的広がりを実現できるため、センサやバイオ実験プラットフォーム構築への応用が期待できる。

要約(英語): We propose an integration method by using an adhesiveness of photosensitive polymer. The proposed method integrates three-dimensional structure and microstructure fabricated by MEMS technology. This method has potential to fabricate three-dimensional sensors or platforms for biological experiments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,004 Kバイト