半導体保護用エッチングヒューズリンクの最適パターンの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 243

グループ名: 【B】平成15年電気学会電力・エネルギー部門大会講演論文集

発行日: 2003/08/06

タイトル(英語): Research of the Optimal Pattern of the Etching Fuse for Semiconductor Protection

著者名: 松岡 清継(埼玉大学),山納 康(埼玉大学),小林 信一(埼玉大学),広瀬 健吾(富士研究所)

著者名(英語): Kiyotsugu Matsuoka|Yasusi Yamanou|Sinniti Kobayasi|Kengo Hirose

キーワード: エッチングヒューズ|Etching　fuse

要約(日本語): 本研究は半導体保護用エッチングヒューズリンクのパターンについて最適形状を
探し現用ヒューズリンクの性能改善と小型化を進める事を目的とする。

PDFファイルサイズ: 1,526 Kバイト