フッ化水素ガスへのカーボンナノチューブガスセンサの応答と電極材料の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 335

グループ名: 【B】平成17年電気学会電力・エネルギー部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/10

タイトル(英語): HF gas response of carbon nanotube gas sensor and influence of the electrode materials

著者名: 林 亮太(九州大学),丁衛東 (九州大学),末廣純也 (九州大学),今坂 公宣(九州大学),原 雅則(九州大学)

著者名(英語): Ryota Hayashi(Kyushu University),Weidong Ding(Kyushu University),Junnya Suehiro(Kyushu University),Kiminobu Imasaka(Kyushu University),Masanori Hara(Kyushu University)

キーワード: カーボンナノチューブ|ガスセンサ|フッ化水素ガスフッ化水素ガス|carbon nanotube|gas sensor|HF gas

要約(日本語): 我々はクロム薄膜電極にCNTを捕集してガスセンサを作製し、SF6中部分放電を検出できることを報告してきた。本研究ではクロム電極とアルミ電極のガスセンサの2種類を用いてフッ化水素(HF)ガスのセンサ応答を調査した。
結果、ppmレベルのHFガスに対してコンダクタンス変化がみられ、検出が可能であることが明らかとなった。クロム、アルミ電極のガスセンサともに、酸化性ガスを吸着したとみられる応答を示したことから、HFガスは酸化性であることがわかった。さらにSF6分解ガスも酸化性であることから、HFガスが分解ガスの一成分であることが示唆される結果となった。

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