アルミナ基板上に形成したカーボンナノチューブセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 292

グループ名: 【B】平成18年電気学会電力・エネルギー部門大会講演論文集

発行日: 2006/09/13

タイトル(英語): Carbon Nano-tube Gas Sensor Manufactured on Alumina Substrate

著者名: 永尾栄一(三菱電機),皆川忠郎(三菱電機),亀井光仁(三菱電機),相知浩平(九州大学),丁衛東(九州大学),末廣純也(九州大学),今坂公宣(九州大学)

著者名(英語): Eiichi Nagao|Tadao Minagawa|Mitsuhito Kamei|Weidong Ding|Junya Suehiro|Kiminobu Imasaka

キーワード: カーボンナノチューブ|ガスセンサ|SF6分解ガス|アルミナ基板|GIS監視・診断|Carbon Nano-tube|Gas Sensor|SF6 Decomposed Gas|Alimina Substrate|GISMonitoring & Diagnosing

要約(日本語): ガス絶縁開閉装置（GIS）の内部異常を監視するため、SF6分解ガスの高感度測定が可能なカーボンナノチューブ（CNT）を用いたセンサの研究が活発に行われている。CNTガスセンサは、従来、ガラス基板上に形成されてきたが、機器適用に際して、センサの耐分解ガス性、信頼性を高めるため、アルミナ基板上へのセンサ実装を検討した。アルミナ基板はガラス基板に比べて耐分解ガス性に優れており、分解ガスによる基板自体の導電率変化が極めて小さく、機器内における分解ガス暴露に対して、安定な特性を示すことが明らかとなった。試作センサは、ガラス基板上に製作した従来センサと同様に高感度なガス応答性を示すことを確認した。

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